




特種氣體的介紹
特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體,隨著國1防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測(特別是微電子技術(shù))的發(fā)展,特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力,佛山特種氣體,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜、醫(yī)1藥等新興行業(yè)。特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程。

特種氣體系統(tǒng):
主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
對于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精1確控制流量,在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),特種氣體廠,壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對點(diǎn),特種氣體價格,中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此,電子特種氣體,整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。


特種氣體的殺菌
安全與環(huán)保
1.滅菌過程中嚴(yán)禁穿有釘?shù)男M(jìn)入現(xiàn)場,嚴(yán)禁操作現(xiàn)場抽煙,以防引起爆1炸事故
2.操作過程中,密切注意壓力、溫度變化,隨時進(jìn)行調(diào)整
3.滅菌過程結(jié)束打開滅菌器時,必須先打開門窗及通風(fēng)設(shè)備,室內(nèi)環(huán)氧乙1烷氣味很濃時,不得開啟電燈照明及手電照明,防爆燈除外。
4.滅菌結(jié)束后排放的環(huán)氧乙1烷殘余氣體應(yīng)進(jìn)行妥善處理并符合環(huán)保要求。


您好,歡迎蒞臨安徽譜純,歡迎咨詢...
![]() 觸屏版二維碼 |