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特種氣體的介紹

特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，隨著國1防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測（特別是微電子技術(shù)）的發(fā)展，特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力，佛山特種氣體，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜、醫(yī)1藥等新興行業(yè)。特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程。

特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，特種氣體廠，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對點(diǎn)，特種氣體價格，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，電子特種氣體，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。

特種氣體的殺菌

安全與環(huán)保

1.滅菌過程中嚴(yán)禁穿有釘?shù)男M(jìn)入現(xiàn)場，嚴(yán)禁操作現(xiàn)場抽煙，以防引起爆1炸事故

2.操作過程中，密切注意壓力、溫度變化，隨時進(jìn)行調(diào)整

3.滅菌過程結(jié)束打開滅菌器時，必須先打開門窗及通風(fēng)設(shè)備，室內(nèi)環(huán)氧乙1烷氣味很濃時，不得開啟電燈照明及手電照明，防爆燈除外。

4.滅菌結(jié)束后排放的環(huán)氧乙1烷殘余氣體應(yīng)進(jìn)行妥善處理并符合環(huán)保要求。

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